专家风采

李志坚，清华大学微电子学研究所教授，中国科学院院士，我国著名微电子专家。　

1928年生，浙江镇海人。毕业于浙江大学物理系，1958年获苏联列宁格勒大学副博士学位。1958年起在清华大学工作，长期担任电子工程系半导体教研室主任，微电子所所长职务。现任清华大学学术委员会副主任，国家信息化专家资深委员会委员。校外职务有：中国电子学会副理事长，全国科协委员，半导体和集成技术学会副主任委员，“电子学报”编委，“半导体学报”编委会副主任，以及国家超晶格实验室，国家表面物理实验室等学术委员会主任。曾多次获国家奖励，包括荣获1997年度陈嘉庚信息科学奖和2000年度何梁何利基金科学与技术进步奖。

李院士1953年开始半导体物理研究，曾成功地提出薄膜光导体的品粒电子势垒理论，并对中国早期硅器件技术的发展技术的发展作出了重要贡献。1965年起开始集成电路的研究，研制成功COMS工艺，领导开发了存储器、CPU等超大规模集成电路。20世纪90年代以来致力于硅系统集成芯片技术的研究和开发，并成功地开展了微电子机械系统（MEMS）的研究。主编《半导体材料硅》和《MOSLSI 集成技术》二书。发表论文130余篇。